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    技術支持
    
        
    
        

        
    
            
    晶圓搬運傳輸系統
    
            
    
            
    
                
    1. 晶圓搬運機械手
    

    2. 晶圓預對準系統
    

    3. 晶圓裝卸料塢（Loadport）
    
            
    
            
        
    


    
    

    





    
    
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